氧化铝薄膜对硫钝化InP材料光学稳定性的影响
양화려박막대류둔화InP재료광학은정성적영향
The Influence of Al2O3 Films on the Optical Stability of S-passivated InP
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    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2013年 24期 18-21 ,共4页

    田珊珊%魏志鹏%赵海峰%高娴%方铉%唐吉龙%楚学影%方芳%李金华

    전산산%위지붕%조해봉%고한%방현%당길룡%초학영%방방%리금화

    InP%光致发光%硫钝化%表面态密度%Al2O3薄膜 InP%光緻髮光%硫鈍化%錶麵態密度%Al2O3薄膜
    InP%광치발광%류둔화%표면태밀도%Al2O3박막
    InP%photoluminescence%sulfur passivation%surface state density%Al2O3 films
    利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2 O3薄膜进行二次钝化处理.通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对样品的光学性质及表面形貌进行表征.硫钝化能够有效降低样品的表面态密度及无辐射复合几率,因此样品PL发光强度得到了极大提高.而样品表面的Al2 O3可防止钝化层被氧化,尽管相对于沉积Al2 O3薄膜前样品的光致发光强度有所降低,但样品的稳定性得到了改善,因此可进一步提高样品的发光性能.
    이용원자층침적법(ALD)재류둔화후적n형InP표면침적Al2 O3박막진행이차둔화처리.통과광치발광(PL)측시화원자력현미경(AFM)측시대양품적광학성질급표면형모진행표정.류둔화능구유효강저양품적표면태밀도급무복사복합궤솔,인차양품PL발광강도득도료겁대제고.이양품표면적Al2 O3가방지둔화층피양화,진관상대우침적Al2 O3박막전양품적광치발광강도유소강저,단양품적은정성득도료개선,인차가진일보제고양품적발광성능.
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