材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
z2期
193-196
,共4页
磁控溅射法%AZO薄膜%结构特性%光学特性
磁控濺射法%AZO薄膜%結構特性%光學特性
자공천사법%AZO박막%결구특성%광학특성
RF magnetron sputtering%AZO film%structural property%optical property
采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅衬底上制备出Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响.结果显示,硅衬底和玻璃衬底均出现了(100)和(002)衍射峰,玻璃的(002)衍射峰强于硅.同时随着退火时间的延长,(002)峰强度基本不变,(100)峰的强度逐渐增强,薄膜呈(100)取向生长,表明退火时间可能会引起晶体生长过程中择优取向的改变.退火1.5h样品可以得到最佳的(002)取向.随着退火时间的延长,样品的PL谱中各发光峰强度先增强后减弱随后又增强,且蓝光双峰强度大于绿光峰强度;位于443nm的蓝光发光峰发生了蓝移.
採用射頻磁控濺射方法在玻璃和硅襯底上製備齣Al摻雜ZnO(AZO)薄膜.利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和光緻熒光髮光(PL)等繫統研究瞭不同Al摻雜量對ZnO薄膜的結晶性能、錶麵形貌和光學特性等的影響.結果顯示,硅襯底和玻璃襯底均齣現瞭(100)和(002)衍射峰,玻璃的(002)衍射峰彊于硅.同時隨著退火時間的延長,(002)峰彊度基本不變,(100)峰的彊度逐漸增彊,薄膜呈(100)取嚮生長,錶明退火時間可能會引起晶體生長過程中擇優取嚮的改變.退火1.5h樣品可以得到最佳的(002)取嚮.隨著退火時間的延長,樣品的PL譜中各髮光峰彊度先增彊後減弱隨後又增彊,且藍光雙峰彊度大于綠光峰彊度;位于443nm的藍光髮光峰髮生瞭藍移.
채용사빈자공천사방법재파리화규츤저상제비출Al참잡ZnO(AZO)박막.이용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화광치형광발광(PL)등계통연구료불동Al참잡량대ZnO박막적결정성능、표면형모화광학특성등적영향.결과현시,규츤저화파리츤저균출현료(100)화(002)연사봉,파리적(002)연사봉강우규.동시수착퇴화시간적연장,(002)봉강도기본불변,(100)봉적강도축점증강,박막정(100)취향생장,표명퇴화시간가능회인기정체생장과정중택우취향적개변.퇴화1.5h양품가이득도최가적(002)취향.수착퇴화시간적연장,양품적PL보중각발광봉강도선증강후감약수후우증강,차람광쌍봉강도대우록광봉강도;위우443nm적람광발광봉발생료람이.
