材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
z2期
164-167,178
,共5页
黄成龙%张继成%易勇%曹磊峰%王红斌
黃成龍%張繼成%易勇%曹磊峰%王紅斌
황성룡%장계성%역용%조뢰봉%왕홍빈
X光单级衍射光栅%黑白透射光栅%电子束光刻%X射线光刻
X光單級衍射光柵%黑白透射光柵%電子束光刻%X射線光刻
X광단급연사광책%흑백투사광책%전자속광각%X사선광각
X-ray single-order diffraction grating%black-white transmission grating%electron beam lithography%X-ray lithography
介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处.阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点.综述了X光单级衍射光栅的发展历程以及存在的问题,并指出了其未来的研究方向.
介紹瞭單級衍射光柵的應用揹景及其基本理論,分析瞭單級衍射光柵與傳統黑白透射光柵的不同之處.闡述瞭單級衍射光柵的製作技術,分析瞭以電子束光刻、X射線光刻和微電鍍技術為主的工藝路線的優缺點.綜述瞭X光單級衍射光柵的髮展歷程以及存在的問題,併指齣瞭其未來的研究方嚮.
개소료단급연사광책적응용배경급기기본이론,분석료단급연사광책여전통흑백투사광책적불동지처.천술료단급연사광책적제작기술,분석료이전자속광각、X사선광각화미전도기술위주적공예로선적우결점.종술료X광단급연사광책적발전역정이급존재적문제,병지출료기미래적연구방향.
