电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
10期
50-53
,共4页
气相掺杂%电阻率%区熔%原子浓度
氣相摻雜%電阻率%區鎔%原子濃度
기상참잡%전조솔%구용%원자농도
随着电力电子技术的发展,对高品质低阻高寿气相掺杂区熔硅单晶的需求越来越紧迫,欧美主要国家的气相掺杂区熔硅单晶生长技术已经趋于成熟,而我国还处于起步阶段.主要从理论方面分析气相掺杂过程PH3进入晶体中的方式和过程,并对掺入量的计算过程进行了详细说明.
隨著電力電子技術的髮展,對高品質低阻高壽氣相摻雜區鎔硅單晶的需求越來越緊迫,歐美主要國傢的氣相摻雜區鎔硅單晶生長技術已經趨于成熟,而我國還處于起步階段.主要從理論方麵分析氣相摻雜過程PH3進入晶體中的方式和過程,併對摻入量的計算過程進行瞭詳細說明.
수착전력전자기술적발전,대고품질저조고수기상참잡구용규단정적수구월래월긴박,구미주요국가적기상참잡구용규단정생장기술이경추우성숙,이아국환처우기보계단.주요종이론방면분석기상참잡과정PH3진입정체중적방식화과정,병대참입량적계산과정진행료상세설명.
