暨南大学学报（自然科学与医学版）
暨南大學學報（自然科學與醫學版）
기남대학학보（자연과학여의학판）
JOURNAL OF JINAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE & MEDICINE EDITION）
2013年
5期
495-499
,共5页
静电驱动%电容检测%工作方程%POGA%模态分析
靜電驅動%電容檢測%工作方程%POGA%模態分析
정전구동%전용검측%공작방정%POGA%모태분석
electrostatic drive%capacitance read-out%working equation%POGA(pendulous oscillating gyro accelerometer)%modal analysis
静电驱动电容检测微机械陀螺加速度器(POGA),是基于宏观的陀螺加速度器(PIGA)设计出来的高精度微机械加速度器.根据惯性力矩和陀螺效,得到静电驱动电容检测微机械陀螺加速度器的工作方程.利用电学、力学和力电转换的知识,详细分析了微机械陀螺加速度器各个部件的工作原理,并对其主要的梁结构单元的力学行为进行了分析.最后利用ANSYS软件,对设计出的简单微机械陀螺加速度器的陀螺转子结构进行了模态分析,得出其前模态振型和较高的两阶模态频率,证明POGA传感器将会在一定的频率范围内保持很好的线性度,为传感器的设计提供指导意义.
靜電驅動電容檢測微機械陀螺加速度器(POGA),是基于宏觀的陀螺加速度器(PIGA)設計齣來的高精度微機械加速度器.根據慣性力矩和陀螺效,得到靜電驅動電容檢測微機械陀螺加速度器的工作方程.利用電學、力學和力電轉換的知識,詳細分析瞭微機械陀螺加速度器各箇部件的工作原理,併對其主要的樑結構單元的力學行為進行瞭分析.最後利用ANSYS軟件,對設計齣的簡單微機械陀螺加速度器的陀螺轉子結構進行瞭模態分析,得齣其前模態振型和較高的兩階模態頻率,證明POGA傳感器將會在一定的頻率範圍內保持很好的線性度,為傳感器的設計提供指導意義.
정전구동전용검측미궤계타라가속도기(POGA),시기우굉관적타라가속도기(PIGA)설계출래적고정도미궤계가속도기.근거관성력구화타라효,득도정전구동전용검측미궤계타라가속도기적공작방정.이용전학、역학화력전전환적지식,상세분석료미궤계타라가속도기각개부건적공작원리,병대기주요적량결구단원적역학행위진행료분석.최후이용ANSYS연건,대설계출적간단미궤계타라가속도기적타라전자결구진행료모태분석,득출기전모태진형화교고적량계모태빈솔,증명POGA전감기장회재일정적빈솔범위내보지흔호적선성도,위전감기적설계제공지도의의.
