基于自激振动原理的静电驱动器中微梁的受力研究
기우자격진동원리적정전구동기중미량적수력연구
  • 万方数据
    科技传播 과기전파
    PUBLIC COMMUNICATION OF SCIENCE & TECHNOLOGY
    2014年 1期 141-142 ,共2页

    车云龙

    차운룡

    微梁%静电驱动%自激振动 微樑%靜電驅動%自激振動
    미량%정전구동%자격진동
    针对一种基于自激振动原理的静电驱动器中微梁受力展开理论分析计算和试验误差分析。
    침대일충기우자격진동원리적정전구동기중미량수력전개이론분석계산화시험오차분석。
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