中国有色冶金
中國有色冶金
중국유색야금
CHINA NONFERROUS METALLURGY
2014年
3期
24-27
,共4页
多晶硅%沉积速率%节能降耗
多晶硅%沉積速率%節能降耗
다정규%침적속솔%절능강모
介绍了多晶硅产业的发展和研究现状,并针对改良西门子法的多晶硅制备环节,总结和分析了工艺、装备及管理的能耗影响规律,并阐述了节能降耗的方法和措施.工艺方面应在保证三氯氢硅一次转化率的前提下,尽量提高多晶硅的沉积速率,通过适当提高混合气流量和硅棒温度,提高三氯氢硅摩尔比例,提高炉内反应压力,达到降低电耗的效果;装备方面可以选用多对棒还原炉,并优化配套电器系统来确保电耗进一步降低;管理降耗的重点是重视市场的资源配置作用,能够适时根据市场环境及时调整多晶硅质量策略,并尽量降低备件消耗,利用考核和绩效激励方式减少人为浪费.
介紹瞭多晶硅產業的髮展和研究現狀,併針對改良西門子法的多晶硅製備環節,總結和分析瞭工藝、裝備及管理的能耗影響規律,併闡述瞭節能降耗的方法和措施.工藝方麵應在保證三氯氫硅一次轉化率的前提下,儘量提高多晶硅的沉積速率,通過適噹提高混閤氣流量和硅棒溫度,提高三氯氫硅摩爾比例,提高爐內反應壓力,達到降低電耗的效果;裝備方麵可以選用多對棒還原爐,併優化配套電器繫統來確保電耗進一步降低;管理降耗的重點是重視市場的資源配置作用,能夠適時根據市場環境及時調整多晶硅質量策略,併儘量降低備件消耗,利用攷覈和績效激勵方式減少人為浪費.
개소료다정규산업적발전화연구현상,병침대개량서문자법적다정규제비배절,총결화분석료공예、장비급관리적능모영향규률,병천술료절능강모적방법화조시.공예방면응재보증삼록경규일차전화솔적전제하,진량제고다정규적침적속솔,통과괄당제고혼합기류량화규봉온도,제고삼록경규마이비례,제고로내반응압력,체도강저전모적효과;장비방면가이선용다대봉환원로,병우화배투전기계통래학보전모진일보강저;관리강모적중점시중시시장적자원배치작용,능구괄시근거시장배경급시조정다정규질량책략,병진량강저비건소모,이용고핵화적효격려방식감소인위낭비.
