电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
1期
42-44,56
,共4页
掩模光刻机%工作台%控制系统
掩模光刻機%工作檯%控製繫統
엄모광각궤%공작태%공제계통
Mask aligner%Alignment stage%Control system
光刻机自动对准工作台是光刻机的核心执行功能部件，直接影响着光刻机找平、锁紧、微分离、自动对准执行等关键功能动作；结构设计紧凑精巧，包含复杂气动控制和高速、精密运动控制。运动控制的精度决定着对准精度，目前接触接近式掩模光刻机的对准精度达到0.5μm ，因此工作台运动控制的精度应小于0.5μm。
光刻機自動對準工作檯是光刻機的覈心執行功能部件，直接影響著光刻機找平、鎖緊、微分離、自動對準執行等關鍵功能動作；結構設計緊湊精巧，包含複雜氣動控製和高速、精密運動控製。運動控製的精度決定著對準精度，目前接觸接近式掩模光刻機的對準精度達到0.5μm ，因此工作檯運動控製的精度應小于0.5μm。
광각궤자동대준공작태시광각궤적핵심집행공능부건，직접영향착광각궤조평、쇄긴、미분리、자동대준집행등관건공능동작；결구설계긴주정교，포함복잡기동공제화고속、정밀운동공제。운동공제적정도결정착대준정도，목전접촉접근식엄모광각궤적대준정도체도0.5μm ，인차공작태운동공제적정도응소우0.5μm。
The Alignment Stage is a key com ponent of Mask Aligner,and it acts some important movements and functions, e.g. Wedge Error Compensation, Locked the chuck, Corresponding alignm ent and exposure gap,A ligning wafer to mask,etc. It's design is complicated and smart,it contains complex pneum atic control,high-speed,high-precision motion control.The motion precision determ ines the alignm ent precision. Now the Mask Aligner alignm ent precision has reached 0.5um , and the motion precision must be over the alignm entprecision.
