电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
1期
31-34
,共4页
遗传算法%湿法刻蚀%PID 控制%温度
遺傳算法%濕法刻蝕%PID 控製%溫度
유전산법%습법각식%PID 공제%온도
Genetic algorithm%Wetetching%PID control%Temperature
在湿法刻蚀的工艺过程中，影响刻蚀速度和刻蚀效果的元素有很多，温度是其中一个关键因素，所以在湿法刻蚀设备研制中对温度精度的控制成为重要技术之一。使用基于遗传算法的PID 控制方法来实现对温度的控制，进行仿真以及和传统PID 控制比较，在实际应用中得到了很好的结果。
在濕法刻蝕的工藝過程中，影響刻蝕速度和刻蝕效果的元素有很多，溫度是其中一箇關鍵因素，所以在濕法刻蝕設備研製中對溫度精度的控製成為重要技術之一。使用基于遺傳算法的PID 控製方法來實現對溫度的控製，進行倣真以及和傳統PID 控製比較，在實際應用中得到瞭很好的結果。
재습법각식적공예과정중，영향각식속도화각식효과적원소유흔다，온도시기중일개관건인소，소이재습법각식설비연제중대온도정도적공제성위중요기술지일。사용기우유전산법적PID 공제방법래실현대온도적공제，진행방진이급화전통PID 공제비교，재실제응용중득도료흔호적결과。
In the wetetching process, the reason of etching speed and effect is very more, temperature is the key factor, the controlling of temperature precision is the one of important technology. The method of control temperature is PID control process basing on the genetic algorithm in this article, and this method obtains very wellresult in the simulation and actualapplication.
