CAJ | 학술논문

介绍了一种实现低成本、高功率、高散热性能耿氏管的工艺制备流程，利用分子束外延生长技术(MBE)在高掺杂的InP衬底上生长n n+型的一致性掺杂外延结构，在外延结构正面利用电子束蒸发Ge/Au/Ni/Au作为器件阴极和电镀金制备作为散热层，背面通过化学湿法腐蚀形成台面(MESA)。在不同的温度下进行了退火对比实验，研究了阴极合金形成良好欧姆接触的温度条件。结果表明：退火温度为450益时形成的金属电极的接触效果最好。关于耿氏管的正面反面制备工艺简便易行，利用Ge/Au/Ni/Au制备金属电极得到了良好的欧姆接触性能，用氯基溶液进行了湿法腐蚀实验得到了较好的垂直台面(MESA)。该制备方法有望实现优良性能的耿氏器件。
개소료일충실현저성본、고공솔、고산열성능경씨관적공예제비류정，이용분자속외연생장기술(MBE)재고참잡적InP츤저상생장n n+형적일치성참잡외연결구，재외연결구정면이용전자속증발Ge/Au/Ni/Au작위기건음겁화전도금제비작위산열층，배면통과화학습법부식형성태면(MESA)。재불동적온도하진행료퇴화대비실험，연구료음겁합금형성량호구모접촉적온도조건。결과표명：퇴화온도위450익시형성적금속전겁적접촉효과최호。관우경씨관적정면반면제비공예간편역행，이용Ge/Au/Ni/Au제비금속전겁득도료량호적구모접촉성능，용록기용액진행료습법부식실험득도료교호적수직태면(MESA)。해제비방법유망실현우량성능적경씨기건。