CAJ | 학술논문

利用化学腐蚀方法，在低阻值p型单晶硅片上制备了火山口形、准纳米孔柱形和多孔形三种形貌的多孔硅薄膜。以空气为参考基准，0.2~10 THz时域光谱显示，火山口形样品在0.2~6 THz的透射强度下降了约1/2，另外两种样品强度下降了约1/5。火山口形、准纳米孔柱形样品呈现低通滤波特性，多孔形样品呈现级联带通特性。准纳米孔柱形样品截止频率比火山口形样品和多孔形样品提高了3 THz左右。样品的频谱出现多处吸收峰，峰的位置与薄膜的几何结构尺寸有关。实验结果表明：多孔薄膜的形状和几何结构尺寸改变了p型单晶硅的太赫兹波段透射强度、吸收频率和截止，该材料可以成为从太赫兹波段至可见光波段的宽频段探测材料和调制材料。
이용화학부식방법，재저조치p형단정규편상제비료화산구형、준납미공주형화다공형삼충형모적다공규박막。이공기위삼고기준，0.2~10 THz시역광보현시，화산구형양품재0.2~6 THz적투사강도하강료약1/2，령외량충양품강도하강료약1/5。화산구형、준납미공주형양품정현저통려파특성，다공형양품정현급련대통특성。준납미공주형양품절지빈솔비화산구형양품화다공형양품제고료3 THz좌우。양품적빈보출현다처흡수봉，봉적위치여박막적궤하결구척촌유관。실험결과표명：다공박막적형상화궤하결구척촌개변료p형단정규적태혁자파단투사강도、흡수빈솔화절지，해재료가이성위종태혁자파단지가견광파단적관빈단탐측재료화조제재료。