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SOFT WARE
2013年
1期
22-25
,共4页
半导体器件%光电子集成%波长选择性波导探测器%法布里波罗腔滤波器
半導體器件%光電子集成%波長選擇性波導探測器%法佈裏波囉腔濾波器
반도체기건%광전자집성%파장선택성파도탐측기%법포리파라강려파기
论文提出一种新型的波长选择性波导探测器.该探测器是利用BCB聚合物,将波导探测器(WGPD)和法布里波罗腔(FPC)滤波器水平集成而成.垂直入射的波导探测器都具有量子效率和带宽之间的互相制约关系.该波长选择性波导探测器采用边入射,克服了上述制约关系.集成的光探测器的峰值波长位于1538nm处,具有0.3nm光谱线宽,外量子效率达到25％,响应度可达0.2A/W.该探测器同时具有12.5GHz的带宽,具有良好的高速特性.同时也讨论了器件的外延生长和制造工艺.
論文提齣一種新型的波長選擇性波導探測器.該探測器是利用BCB聚閤物,將波導探測器(WGPD)和法佈裏波囉腔(FPC)濾波器水平集成而成.垂直入射的波導探測器都具有量子效率和帶寬之間的互相製約關繫.該波長選擇性波導探測器採用邊入射,剋服瞭上述製約關繫.集成的光探測器的峰值波長位于1538nm處,具有0.3nm光譜線寬,外量子效率達到25％,響應度可達0.2A/W.該探測器同時具有12.5GHz的帶寬,具有良好的高速特性.同時也討論瞭器件的外延生長和製造工藝.
논문제출일충신형적파장선택성파도탐측기.해탐측기시이용BCB취합물,장파도탐측기(WGPD)화법포리파라강(FPC)려파기수평집성이성.수직입사적파도탐측기도구유양자효솔화대관지간적호상제약관계.해파장선택성파도탐측기채용변입사,극복료상술제약관계.집성적광탐측기적봉치파장위우1538nm처,구유0.3nm광보선관,외양자효솔체도25％,향응도가체0.2A/W.해탐측기동시구유12.5GHz적대관,구유량호적고속특성.동시야토론료기건적외연생장화제조공예.
