自动化仪表
自動化儀錶
자동화의표
PROCESS AUTOMATION INSTRUMENTATION
2013年
3期
83-86
,共4页
微压力传感器%灵敏度%线性度%ANSYS仿真%可靠性
微壓力傳感器%靈敏度%線性度%ANSYS倣真%可靠性
미압력전감기%령민도%선성도%ANSYS방진%가고성
在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器.在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值.仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值.
在研究壓阻式微壓力傳感器的結構參數的基礎上,根據傳感器的靈敏度與線性度特點,設計瞭一種量程為200 kPa的微壓力傳感器.在滿足計算要求的條件下,對該傳感器的每一箇參數進行ANSYS倣真;併根據靈敏度、線性度及製作工藝的難易程度選擇這些參數的最佳值.倣真結果錶明,該設計方法對微壓力傳感器的研製具有一定的參攷價值.
재연구압조식미압력전감기적결구삼수적기출상,근거전감기적령민도여선성도특점,설계료일충량정위200 kPa적미압력전감기.재만족계산요구적조건하,대해전감기적매일개삼수진행ANSYS방진;병근거령민도、선성도급제작공예적난역정도선택저사삼수적최가치.방진결과표명,해설계방법대미압력전감기적연제구유일정적삼고개치.
