机械制造
機械製造
궤계제조
MACHINERY
2013年
3期
26-29
,共4页
通过式%方块电阻%方差
通過式%方塊電阻%方差
통과식%방괴전조%방차
为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法.首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型.其次,采用抽样统计方法,通过建立数学模型,计算各测试点的方块电阻及其方差,验证了该方法的有效性,为扩散工艺的改善提供借鉴.
為消除方塊電阻不均勻性對太暘能電池闆性能的影響,提齣瞭一種通過式擴散方法.首先,設計瞭擴散爐結構,定義瞭通過式擴散方法的擴散步驟,併建立瞭方塊電阻和擴散時間、擴散溫度以及氣體流量的關繫的數學模型.其次,採用抽樣統計方法,通過建立數學模型,計算各測試點的方塊電阻及其方差,驗證瞭該方法的有效性,為擴散工藝的改善提供藉鑒.
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