功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
3期
442-445,450
,共5页
溶胶-凝胶法%a-IGZO薄膜%薄膜晶体管
溶膠-凝膠法%a-IGZO薄膜%薄膜晶體管
용효-응효법%a-IGZO박막%박막정체관
采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响.并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电流为10-11A,退火能够改善a-IGZO TFT器件性能,器件的开关比提高了两个数量级.
採用溶膠-凝膠法製備瞭非晶銦鎵鋅氧化物(a-IGZO)薄膜,通過熱重-差熱示差技術分析瞭a-IGZO形成機理,併研究瞭熱處理對a-IGZO薄膜的結構和光電性能影響.併用于薄膜晶體管(TFT)的有源層,製備的a-IGZO TFT,其具有明顯的轉移特性,其關態電流為10-11A,退火能夠改善a-IGZO TFT器件性能,器件的開關比提高瞭兩箇數量級.
채용용효-응효법제비료비정인가자양화물(a-IGZO)박막,통과열중-차열시차기술분석료a-IGZO형성궤리,병연구료열처리대a-IGZO박막적결구화광전성능영향.병용우박막정체관(TFT)적유원층,제비적a-IGZO TFT,기구유명현적전이특성,기관태전류위10-11A,퇴화능구개선a-IGZO TFT기건성능,기건적개관비제고료량개수량급.
