浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2013年
3期
336-339
,共4页
王俊茹%罗剑波%赵新龙%王惠姣
王俊茹%囉劍波%趙新龍%王惠姣
왕준여%라검파%조신룡%왕혜교
曲面激光直写%定位控制%宏/微双驱动系统
麯麵激光直寫%定位控製%宏/微雙驅動繫統
곡면격광직사%정위공제%굉/미쌍구동계통
探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法.曲面激光直写中光焦点的定位控刺要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统.对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析.探讨宏/微双驱动系统在直写先刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验.结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的.
探討瞭麯麵激光直寫繫統中的光焦點定位控製方法.麯麵激光直寫中光焦點的定位控刺要求定位範圍毫米級,而定位精度則在亞微米級,因此選用瞭宏/微雙驅動繫統.對宏/微雙驅動繫統進行瞭動力學建模,併進行瞭分析.探討宏/微雙驅動繫統在直寫先刻中的控製方法,對所設計的宏/微雙驅動繫統進行瞭實際的測試實驗.結果錶明:所設計的宏/微雙驅動繫統在麯麵激光直寫繫統中是可行且有效的.
탐토료곡면격광직사계통중적광초점정위공제방법.곡면격광직사중광초점적정위공자요구정위범위호미급,이정위정도칙재아미미급,인차선용료굉/미쌍구동계통.대굉/미쌍구동계통진행료동역학건모,병진행료분석.탐토굉/미쌍구동계통재직사선각중적공제방법,대소설계적굉/미쌍구동계통진행료실제적측시실험.결과표명:소설계적굉/미쌍구동계통재곡면격광직사계통중시가행차유효적.
