低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2013年
3期
10-15
,共6页
陶伟%王昕晔%魏玉科%刘政豪%张辰%马平
陶偉%王昕曄%魏玉科%劉政豪%張辰%馬平
도위%왕흔엽%위옥과%류정호%장신%마평
低噪声%超导量子干涉仪%台阶结%外延生长%晶界
低譟聲%超導量子榦涉儀%檯階結%外延生長%晶界
저조성%초도양자간섭의%태계결%외연생장%정계
针对低内禀噪声要求条件下HTc rf SQUID芯片制备成品率和优质率低等问题,通过对YBCO薄膜的PLD制备工艺参数及所制作的YBCO薄膜性能与微观形貌的观测分析,提出晶界结构的非均匀和不一致性可能是影响低噪声台阶边沿型晶界结制备质量的观点,进而以淀积温度为典型控制参数设计了一组实验,对实验获取的YBCO薄膜和SQUID芯片的性能测试表明:YBCO薄膜生长的三高条件(高淀积温度、高氧分压和高激光能量密度)易造成薄膜表面平整度恶化和晶界构型的不均匀,而选择合适的淀积温度可有效提高SQUID芯片的噪声性能.
針對低內稟譟聲要求條件下HTc rf SQUID芯片製備成品率和優質率低等問題,通過對YBCO薄膜的PLD製備工藝參數及所製作的YBCO薄膜性能與微觀形貌的觀測分析,提齣晶界結構的非均勻和不一緻性可能是影響低譟聲檯階邊沿型晶界結製備質量的觀點,進而以澱積溫度為典型控製參數設計瞭一組實驗,對實驗穫取的YBCO薄膜和SQUID芯片的性能測試錶明:YBCO薄膜生長的三高條件(高澱積溫度、高氧分壓和高激光能量密度)易造成薄膜錶麵平整度噁化和晶界構型的不均勻,而選擇閤適的澱積溫度可有效提高SQUID芯片的譟聲性能.
침대저내품조성요구조건하HTc rf SQUID심편제비성품솔화우질솔저등문제,통과대YBCO박막적PLD제비공예삼수급소제작적YBCO박막성능여미관형모적관측분석,제출정계결구적비균균화불일치성가능시영향저조성태계변연형정계결제비질량적관점,진이이정적온도위전형공제삼수설계료일조실험,대실험획취적YBCO박막화SQUID심편적성능측시표명:YBCO박막생장적삼고조건(고정적온도、고양분압화고격광능량밀도)역조성박막표면평정도악화화정계구형적불균균,이선택합괄적정적온도가유효제고SQUID심편적조성성능.
