集成技术
集成技術
집성기술
Journal of Integration Technology
2012年
3期
15-19
,共5页
CMUT%Spice模型%低噪声
CMUT%Spice模型%低譟聲
CMUT%Spice모형%저조성
本文提出了一种紧凑的可动浮栅型电容式超声传感器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)器件结构和低噪声高频电路.该结构包含通常CMUT上下电极和MOS晶体管.建模对浮栅型CMUT器件进行了直流分析和时变电容的瞬态分析,模拟结果表明该传感器结构比传统CMUT具有更低的寄生电容和输出阻抗.在1.5Pa超声声压下进行Cadence和ANSYS仿真,输出信号为40.1 mV,在1 MHz等效输出噪声为16.59 nV/Hz1/2,直流增益为74.73dB,单位增益带宽为488 MHz.指标优于传统的CMUT结构,具有医学三维成像的应用前景.
本文提齣瞭一種緊湊的可動浮柵型電容式超聲傳感器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)器件結構和低譟聲高頻電路.該結構包含通常CMUT上下電極和MOS晶體管.建模對浮柵型CMUT器件進行瞭直流分析和時變電容的瞬態分析,模擬結果錶明該傳感器結構比傳統CMUT具有更低的寄生電容和輸齣阻抗.在1.5Pa超聲聲壓下進行Cadence和ANSYS倣真,輸齣信號為40.1 mV,在1 MHz等效輸齣譟聲為16.59 nV/Hz1/2,直流增益為74.73dB,單位增益帶寬為488 MHz.指標優于傳統的CMUT結構,具有醫學三維成像的應用前景.
본문제출료일충긴주적가동부책형전용식초성전감기(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)기건결구화저조성고빈전로.해결구포함통상CMUT상하전겁화MOS정체관.건모대부책형CMUT기건진행료직류분석화시변전용적순태분석,모의결과표명해전감기결구비전통CMUT구유경저적기생전용화수출조항.재1.5Pa초성성압하진행Cadence화ANSYS방진,수출신호위40.1 mV,재1 MHz등효수출조성위16.59 nV/Hz1/2,직류증익위74.73dB,단위증익대관위488 MHz.지표우우전통적CMUT결구,구유의학삼유성상적응용전경.
