制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2013年
1期
136-140
,共5页
终极钻石盘%晶圆薄化%切削%裂痕
終極鑽石盤%晶圓薄化%切削%裂痕
종겁찬석반%정원박화%절삭%렬흔
提出了晶圆薄化刀具的改进策略,终极钻石盘能减少晶圆薄化过程中的裂痕,可降低刀具的磨耗速度,并分别以加工参数影响实验、切削力与比切削能实验、刀具磨耗实验论证了终极钻石盘的移除机理及薄化特性.
提齣瞭晶圓薄化刀具的改進策略,終極鑽石盤能減少晶圓薄化過程中的裂痕,可降低刀具的磨耗速度,併分彆以加工參數影響實驗、切削力與比切削能實驗、刀具磨耗實驗論證瞭終極鑽石盤的移除機理及薄化特性.
제출료정원박화도구적개진책략,종겁찬석반능감소정원박화과정중적렬흔,가강저도구적마모속도,병분별이가공삼수영향실험、절삭력여비절삭능실험、도구마모실험론증료종겁찬석반적이제궤리급박화특성.
