真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2012年
5期
18-21
,共4页
林梁琪%吴登阳%陈思河%黎思文%周白杨
林樑琪%吳登暘%陳思河%黎思文%週白楊
림량기%오등양%진사하%려사문%주백양
稀土超磁致伸缩薄膜%掺杂%耦合%磁致伸缩%软磁特性
稀土超磁緻伸縮薄膜%摻雜%耦閤%磁緻伸縮%軟磁特性
희토초자치신축박막%참잡%우합%자치신축%연자특성
采用离子束溅射沉积法,通过溅射Sm-Fe-B合金靶、Ni-Fe靶及纯Fe靶,在锡青铜和盖玻片衬底上溅射沉积由B掺杂的Sm-Fe-B负磁致伸缩薄膜与Ni-Fe、纯Fe组合的纳米级耦合薄膜材料.通过采用LK-500激光微位移传感器测量薄膜自由端偏转量,用交变梯度磁强计测试薄膜的磁滞回线,研究不同比例的膜态组合及不同软磁材料耦合的膜态组合对薄膜的磁致伸缩性能及软磁特性的影响.实验结果表明:磁致伸缩层与软磁层的比例为3:1时的磁致伸缩性能、软磁特性最佳；且在磁致伸缩层与软磁层耦合的比例为3:1基础上,通过改变耦合软磁层材料种类,薄膜的磁致伸缩性能与软磁特性可以得到进一步改善.
採用離子束濺射沉積法,通過濺射Sm-Fe-B閤金靶、Ni-Fe靶及純Fe靶,在錫青銅和蓋玻片襯底上濺射沉積由B摻雜的Sm-Fe-B負磁緻伸縮薄膜與Ni-Fe、純Fe組閤的納米級耦閤薄膜材料.通過採用LK-500激光微位移傳感器測量薄膜自由耑偏轉量,用交變梯度磁彊計測試薄膜的磁滯迴線,研究不同比例的膜態組閤及不同軟磁材料耦閤的膜態組閤對薄膜的磁緻伸縮性能及軟磁特性的影響.實驗結果錶明:磁緻伸縮層與軟磁層的比例為3:1時的磁緻伸縮性能、軟磁特性最佳；且在磁緻伸縮層與軟磁層耦閤的比例為3:1基礎上,通過改變耦閤軟磁層材料種類,薄膜的磁緻伸縮性能與軟磁特性可以得到進一步改善.
채용리자속천사침적법,통과천사Sm-Fe-B합금파、Ni-Fe파급순Fe파,재석청동화개파편츤저상천사침적유B참잡적Sm-Fe-B부자치신축박막여Ni-Fe、순Fe조합적납미급우합박막재료.통과채용LK-500격광미위이전감기측량박막자유단편전량,용교변제도자강계측시박막적자체회선,연구불동비례적막태조합급불동연자재료우합적막태조합대박막적자치신축성능급연자특성적영향.실험결과표명:자치신축층여연자층적비례위3:1시적자치신축성능、연자특성최가；차재자치신축층여연자층우합적비례위3:1기출상,통과개변우합연자층재료충류,박막적자치신축성능여연자특성가이득도진일보개선.
