材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
6期
33-36
,共4页
颜钟惠%王瑶%吴国栋%轩瑞杰%李想
顏鐘惠%王瑤%吳國棟%軒瑞傑%李想
안종혜%왕요%오국동%헌서걸%리상
微孔SiO2%双电层效应%透明氧化物%薄膜晶体管
微孔SiO2%雙電層效應%透明氧化物%薄膜晶體管
미공SiO2%쌍전층효응%투명양화물%박막정체관
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管.利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征.结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能.
採用等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)法製備微孔SiO2薄膜併將其作為柵介質,製作瞭基于微孔SiO2柵介質層的透明氧化物薄膜晶體管.利用場髮射掃描電鏡、阻抗分析儀以及半導體分析儀對樣品進行錶徵.結果錶明,微孔SiO2柵介質具有雙電層效應,這種微孔SiO2柵介質透明氧化物薄膜晶體管器件具有工作電壓低,開關電流比大,透光性高,穩定性彊等良好性能.
채용등리자증강화학기상침적(PECVD)법제비미공SiO2박막병장기작위책개질,제작료기우미공SiO2책개질층적투명양화물박막정체관.이용장발사소묘전경、조항분석의이급반도체분석의대양품진행표정.결과표명,미공SiO2책개질구유쌍전층효응,저충미공SiO2책개질투명양화물박막정체관기건구유공작전압저,개관전류비대,투광성고,은정성강등량호성능.
