红外
紅外
홍외
INFRARED
2013年
5期
35-38
,共4页
于增辉%赵超%王志芳%程鹏
于增輝%趙超%王誌芳%程鵬
우증휘%조초%왕지방%정붕
研磨%表面平整度%TTV
研磨%錶麵平整度%TTV
연마%표면평정도%TTV
随着现代光电器件工艺的不断改进以及焦平面器件像元数的不断增加,大尺寸晶片越来越受到工艺人员的重视,晶片研磨过程中的表面平整度或总厚度偏差(Total Thickness Variation,TTV)数值有所增加.为了满足工艺人员对大尺寸晶片的要求,降低了研磨工艺中晶片的TTV值.在对不同研磨条件下所得到的晶片的TTV进行研究后,制定了合理的研磨工序.
隨著現代光電器件工藝的不斷改進以及焦平麵器件像元數的不斷增加,大呎吋晶片越來越受到工藝人員的重視,晶片研磨過程中的錶麵平整度或總厚度偏差(Total Thickness Variation,TTV)數值有所增加.為瞭滿足工藝人員對大呎吋晶片的要求,降低瞭研磨工藝中晶片的TTV值.在對不同研磨條件下所得到的晶片的TTV進行研究後,製定瞭閤理的研磨工序.
수착현대광전기건공예적불단개진이급초평면기건상원수적불단증가,대척촌정편월래월수도공예인원적중시,정편연마과정중적표면평정도혹총후도편차(Total Thickness Variation,TTV)수치유소증가.위료만족공예인원대대척촌정편적요구,강저료연마공예중정편적TTV치.재대불동연마조건하소득도적정편적TTV진행연구후,제정료합리적연마공서.
