天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
29-33
,共5页
张学谦%黄美东%柯培玲%汪爱英
張學謙%黃美東%柯培玲%汪愛英
장학겸%황미동%가배령%왕애영
高功率脉冲磁控溅射%类石墨非晶碳膜%基底偏压%微观结构%摩擦性能%机械性能
高功率脈遲磁控濺射%類石墨非晶碳膜%基底偏壓%微觀結構%摩抆性能%機械性能
고공솔맥충자공천사%류석묵비정탄막%기저편압%미관결구%마찰성능%궤계성능
采用高功率脉冲磁控溅射法在Si和高速钢基底上制备类石墨(Graphite-like carbon,GLC)非晶碳膜,研究了基底偏压对薄膜微观结构、机械性能和摩擦学性能的影响.结果表明:随着基底偏压的增大,GLC薄膜sp2键含量先减小后增大,在基底偏压为-100V时达到最小值；薄膜的硬度和弹性模量先增大后减小,表面粗糙度先减小后增大；GLC薄膜的摩擦学性能与其机械性能和表面粗糙度密切相关,在基底偏压为-100 V时,薄膜的平均摩擦系数最小.
採用高功率脈遲磁控濺射法在Si和高速鋼基底上製備類石墨(Graphite-like carbon,GLC)非晶碳膜,研究瞭基底偏壓對薄膜微觀結構、機械性能和摩抆學性能的影響.結果錶明:隨著基底偏壓的增大,GLC薄膜sp2鍵含量先減小後增大,在基底偏壓為-100V時達到最小值；薄膜的硬度和彈性模量先增大後減小,錶麵粗糙度先減小後增大；GLC薄膜的摩抆學性能與其機械性能和錶麵粗糙度密切相關,在基底偏壓為-100 V時,薄膜的平均摩抆繫數最小.
채용고공솔맥충자공천사법재Si화고속강기저상제비류석묵(Graphite-like carbon,GLC)비정탄막,연구료기저편압대박막미관결구、궤계성능화마찰학성능적영향.결과표명:수착기저편압적증대,GLC박막sp2건함량선감소후증대,재기저편압위-100V시체도최소치；박막적경도화탄성모량선증대후감소,표면조조도선감소후증대；GLC박막적마찰학성능여기궤계성능화표면조조도밀절상관,재기저편압위-100 V시,박막적평균마찰계수최소.
