超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2013年
1期
33-37
,共5页
吴改%陈美华%宫旎娜%刘剑红%王健行
吳改%陳美華%宮旎娜%劉劍紅%王健行
오개%진미화%궁니나%류검홍%왕건행
MPCVD%单晶%金刚石
MPCVD%單晶%金剛石
MPCVD%단정%금강석
在CVD法合成单晶体金刚石技术中,如何提高生长速率、生长质量以及单晶体体积是业界关注的焦点.文章选取5粒(100)方向的合成单晶金刚石作为种晶材料,其中包含2粒Ⅱa型CVD法合成的种晶,3粒Ⅰb型HPHT法合成的种晶,采用MPCVD法合成单晶体金刚石,获得了较理想的阶段性进展.实验参数范围是:温度为800℃～1100℃,压力为8000～11000Pa,功率为2500W.通过显微放大观察发现样品实现三维的生长模式,即在生长过程中表面积不断扩大,厚度不断增长,并在各表面留下了有明显特征的阶梯状生长纹和锥形生长丘.其中厚度最大增值为0.52mm,重量增加0.13ct.实验中首次得到了高质量透明的金刚石生长层.拉曼光谱分析表明,合成样品均存在金刚石特征的1332cm-1强峰,部分样品还伴随有少量的非金刚石相.
在CVD法閤成單晶體金剛石技術中,如何提高生長速率、生長質量以及單晶體體積是業界關註的焦點.文章選取5粒(100)方嚮的閤成單晶金剛石作為種晶材料,其中包含2粒Ⅱa型CVD法閤成的種晶,3粒Ⅰb型HPHT法閤成的種晶,採用MPCVD法閤成單晶體金剛石,穫得瞭較理想的階段性進展.實驗參數範圍是:溫度為800℃～1100℃,壓力為8000～11000Pa,功率為2500W.通過顯微放大觀察髮現樣品實現三維的生長模式,即在生長過程中錶麵積不斷擴大,厚度不斷增長,併在各錶麵留下瞭有明顯特徵的階梯狀生長紋和錐形生長丘.其中厚度最大增值為0.52mm,重量增加0.13ct.實驗中首次得到瞭高質量透明的金剛石生長層.拉曼光譜分析錶明,閤成樣品均存在金剛石特徵的1332cm-1彊峰,部分樣品還伴隨有少量的非金剛石相.
재CVD법합성단정체금강석기술중,여하제고생장속솔、생장질량이급단정체체적시업계관주적초점.문장선취5립(100)방향적합성단정금강석작위충정재료,기중포함2립Ⅱa형CVD법합성적충정,3립Ⅰb형HPHT법합성적충정,채용MPCVD법합성단정체금강석,획득료교이상적계단성진전.실험삼수범위시:온도위800℃～1100℃,압력위8000～11000Pa,공솔위2500W.통과현미방대관찰발현양품실현삼유적생장모식,즉재생장과정중표면적불단확대,후도불단증장,병재각표면류하료유명현특정적계제상생장문화추형생장구.기중후도최대증치위0.52mm,중량증가0.13ct.실험중수차득도료고질량투명적금강석생장층.랍만광보분석표명,합성양품균존재금강석특정적1332cm-1강봉,부분양품환반수유소량적비금강석상.
