信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2013年
2期
11-15
,共5页
张丽丽%周炳卿%张林睿%李海泉
張麗麗%週炳卿%張林睿%李海泉
장려려%주병경%장림예%리해천
ITO薄膜%溶胶-凝胶法%表面形貌%透射率%方块电阻
ITO薄膜%溶膠-凝膠法%錶麵形貌%透射率%方塊電阻
ITO박막%용효-응효법%표면형모%투사솔%방괴전조
本文以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为前驱物,利用溶胶-凝胶法在玻璃载片上旋转涂膜制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO薄膜).采用了紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪、X-射线衍射仪和扫描电镜等对ITO薄膜的透射率、方块电阻、物相组分和结构形貌进行测量与表征.研究了掺锡浓度对ITO薄膜的光电特性的影响.实验结果显示:ITO薄膜的光电特性与掺锡浓度有关,在掺杂溶度为12wt％时,制备出的ITO薄膜最低方块电阻为124Ω/□,最高透射率为92.85％.
本文以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O為前驅物,利用溶膠-凝膠法在玻璃載片上鏇轉塗膜製備摻錫氧化銦透明導電薄膜(ITO薄膜).採用瞭紫外-可見光分光光度計、四探針測試儀、X-射線衍射儀和掃描電鏡等對ITO薄膜的透射率、方塊電阻、物相組分和結構形貌進行測量與錶徵.研究瞭摻錫濃度對ITO薄膜的光電特性的影響.實驗結果顯示:ITO薄膜的光電特性與摻錫濃度有關,在摻雜溶度為12wt％時,製備齣的ITO薄膜最低方塊電阻為124Ω/□,最高透射率為92.85％.
본문이InCl3·4H2O화SnCl4·5H2O위전구물,이용용효-응효법재파리재편상선전도막제비참석양화인투명도전박막(ITO박막).채용료자외-가견광분광광도계、사탐침측시의、X-사선연사의화소묘전경등대ITO박막적투사솔、방괴전조、물상조분화결구형모진행측량여표정.연구료참석농도대ITO박막적광전특성적영향.실험결과현시:ITO박막적광전특성여참석농도유관,재참잡용도위12wt％시,제비출적ITO박막최저방괴전조위124Ω/□,최고투사솔위92.85％.
