青岛科技大学学报（自然科学版）
青島科技大學學報（自然科學版）
청도과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
147-151
,共5页
多晶硅%PRO/Ⅱ模拟软件%氯化氢%生产工艺
多晶硅%PRO/Ⅱ模擬軟件%氯化氫%生產工藝
다정규%PRO/Ⅱ모의연건%록화경%생산공예
采用PRO/Ⅱ模拟软件,选用PRM方程,对多晶硅生产过程中氯化氢吸收塔进行了模拟研究.结果表明,在操作压力为1.5 MPaG(相对压力)、吸收剂温度为-40℃、理论塔板数为24块时,选择合适的氯硅烷吸收剂用量可对尾气中的HCl实现良好的吸收.
採用PRO/Ⅱ模擬軟件,選用PRM方程,對多晶硅生產過程中氯化氫吸收塔進行瞭模擬研究.結果錶明,在操作壓力為1.5 MPaG(相對壓力)、吸收劑溫度為-40℃、理論塔闆數為24塊時,選擇閤適的氯硅烷吸收劑用量可對尾氣中的HCl實現良好的吸收.
채용PRO/Ⅱ모의연건,선용PRM방정,대다정규생산과정중록화경흡수탑진행료모의연구.결과표명,재조작압력위1.5 MPaG(상대압력)、흡수제온도위-40℃、이론탑판수위24괴시,선택합괄적록규완흡수제용량가대미기중적HCl실현량호적흡수.
