城市建设理论研究（电子版）
城市建設理論研究（電子版）
성시건설이론연구（전자판）
ChengShi Jianshe LiLun Yan Jiu
2012年
28期
,共1页
赵联一%李坤朋%王晓伟
趙聯一%李坤朋%王曉偉
조련일%리곤붕%왕효위
微机电系统%微电子学%微机械学%自动控制
微機電繫統%微電子學%微機械學%自動控製
미궤전계통%미전자학%미궤계학%자동공제
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域。集约了当今科学技术发展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文指明了MEMS技术的发展面临的问题及趋势，有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。
微機電繫統(MEMS)是在微電子技術的基礎上興起的一箇多學科交扠的前沿領域。集約瞭噹今科學技術髮展的許多尖耑成果，在汽車電子、航空航天、信息通訊、生物醫學、自動控製、國防軍工等領域應用前景廣闊。該文指明瞭MEMS技術的髮展麵臨的問題及趨勢，有望在近幾十年將大量先進的MEMS器件從實驗室推嚮實用化和產業化。
미궤전계통(MEMS)시재미전자기술적기출상흥기적일개다학과교차적전연영역。집약료당금과학기술발전적허다첨단성과，재기차전자、항공항천、신식통신、생물의학、자동공제、국방군공등영역응용전경엄활。해문지명료MEMS기술적발전면림적문제급추세，유망재근궤십년장대량선진적MEMS기건종실험실추향실용화화산업화。
