CAJ | 학술논문

以粉体含量为83.3％(质量分数)、薄膜厚度为200μm的FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜为研究对象,通过控制薄膜所处的外界环境温湿度,系统研究了环境温湿度的改变对压磁柔性薄膜力敏性能的影响,从而为以压磁柔性薄膜为核心元件的压磁式传感器的应用开发提供有价值的参考.实验结果表明,环境温湿度变化对FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜的力敏性能有较大影响.随着环境温湿度的升高,灵敏度｜ΔZ｜和应力阻抗效应SI％呈折线变化趋势.频率为1kHz时,｜ΔZ｜和SI％的变化幅度最大,随着频率升高,｜ΔZ｜和SI％的变化幅度减小；在环境温度为25℃,湿度为40％RH条件下,FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜具有最佳的力敏性能.在频率为1kHz,压应力为0.13和1MPa条件下,｜ΔZ ｜和SI％值的变化幅值分别高达827.37kΩ和37.36.
이분체함량위83.3％(질량분수)、박막후도위200μm적FeCuNbSiB비정분/규상효복합박막위연구대상,통과공제박막소처적외계배경온습도,계통연구료배경온습도적개변대압자유성박막력민성능적영향,종이위이압자유성박막위핵심원건적압자식전감기적응용개발제공유개치적삼고.실험결과표명,배경온습도변화대FeCuNbSiB비정분/규상효복합박막적력민성능유교대영향.수착배경온습도적승고,령민도｜ΔZ｜화응력조항효응SI％정절선변화추세.빈솔위1kHz시,｜ΔZ｜화SI％적변화폭도최대,수착빈솔승고,｜ΔZ｜화SI％적변화폭도감소；재배경온도위25℃,습도위40％RH조건하,FeCuNbSiB비정분/규상효복합박막구유최가적력민성능.재빈솔위1kHz,압응력위0.13화1MPa조건하,｜ΔZ ｜화SI％치적변화폭치분별고체827.37kΩ화37.36.