西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2012年
10期
800-805
,共6页
DLC薄膜%吸收损耗%建模%椭偏法
DLC薄膜%吸收損耗%建模%橢偏法
DLC박막%흡수손모%건모%타편법
类金刚石(Diamond Like Coobon,DLC)薄膜在光学领域主要用做红外区高强度减反射光学薄膜,准确测定薄膜的消光系数k,是评价薄膜吸收特性的关键环节.考虑到DLC薄膜材料结构的复杂性,研究了椭偏技术在分析无氢DLC薄膜时物理模型的建立方法,并且验证了该模型分析结果的准确性.利用Maxwell-Gamett等效介质理论建立了一种单层椭偏分析物理模型Si/EMA(n1+n2混合材料),利用该模型探索了采用双层模型的高低折射率比值代替薄膜中不同结构材料组分比值的有效性,从整体上用单层模型表征了DLC薄膜的消光系数,获得了单层薄膜的消光系数和折射率.测试了样片的透射率光谱.分别采用TFC(TFCalc)拟合的透射率光谱和Raman光谱验证了椭偏分析模型测试结果的准确性为椭偏分析技术研究DLC薄膜吸收损耗特性提供了有效路径.
類金剛石(Diamond Like Coobon,DLC)薄膜在光學領域主要用做紅外區高彊度減反射光學薄膜,準確測定薄膜的消光繫數k,是評價薄膜吸收特性的關鍵環節.攷慮到DLC薄膜材料結構的複雜性,研究瞭橢偏技術在分析無氫DLC薄膜時物理模型的建立方法,併且驗證瞭該模型分析結果的準確性.利用Maxwell-Gamett等效介質理論建立瞭一種單層橢偏分析物理模型Si/EMA(n1+n2混閤材料),利用該模型探索瞭採用雙層模型的高低摺射率比值代替薄膜中不同結構材料組分比值的有效性,從整體上用單層模型錶徵瞭DLC薄膜的消光繫數,穫得瞭單層薄膜的消光繫數和摺射率.測試瞭樣片的透射率光譜.分彆採用TFC(TFCalc)擬閤的透射率光譜和Raman光譜驗證瞭橢偏分析模型測試結果的準確性為橢偏分析技術研究DLC薄膜吸收損耗特性提供瞭有效路徑.
류금강석(Diamond Like Coobon,DLC)박막재광학영역주요용주홍외구고강도감반사광학박막,준학측정박막적소광계수k,시평개박막흡수특성적관건배절.고필도DLC박막재료결구적복잡성,연구료타편기술재분석무경DLC박막시물리모형적건립방법,병차험증료해모형분석결과적준학성.이용Maxwell-Gamett등효개질이론건립료일충단층타편분석물리모형Si/EMA(n1+n2혼합재료),이용해모형탐색료채용쌍층모형적고저절사솔비치대체박막중불동결구재료조분비치적유효성,종정체상용단층모형표정료DLC박막적소광계수,획득료단층박막적소광계수화절사솔.측시료양편적투사솔광보.분별채용TFC(TFCalc)의합적투사솔광보화Raman광보험증료타편분석모형측시결과적준학성위타편분석기술연구DLC박막흡수손모특성제공료유효로경.
