仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
12期
113-115
,共3页
郑浩%李延夫%孙礼%杜健
鄭浩%李延伕%孫禮%杜健
정호%리연부%손례%두건
传感器%可靠性%振动试验
傳感器%可靠性%振動試驗
전감기%가고성%진동시험
针对工业控制系统中常用的硅基压力传感器,介绍了可靠性试验分类,可靠性试验应力类型.通过常规试验方法产生的失效模式、失效模式比例,进行进一步的失效机理分析,找出硅基压力传感器设计缺陷及薄弱环节,提出其可靠性强化振动试验方法的理论基础和试验应用模型,并对典型试验方法进行了剖析,并基于试验结果提出了硅基传感器具体设计改进建议.
針對工業控製繫統中常用的硅基壓力傳感器,介紹瞭可靠性試驗分類,可靠性試驗應力類型.通過常規試驗方法產生的失效模式、失效模式比例,進行進一步的失效機理分析,找齣硅基壓力傳感器設計缺陷及薄弱環節,提齣其可靠性彊化振動試驗方法的理論基礎和試驗應用模型,併對典型試驗方法進行瞭剖析,併基于試驗結果提齣瞭硅基傳感器具體設計改進建議.
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