一种新型微结构气体传感器电极设计分析
일충신형미결구기체전감기전겁설계분석
Simulation and Design of Micro-structural Gas Sensor Electrodes
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2012年 12期 6-8 ,共3页

    韩郁%刘丽%陕皓%王连元%李守春%李伟%田云霞%魏爱国

    한욱%류려%협호%왕련원%리수춘%리위%전운하%위애국

    气体传感器%微加热器%电极%温度分布 氣體傳感器%微加熱器%電極%溫度分佈
    기체전감기%미가열기%전겁%온도분포
    利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构.这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰.通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布.当加热器宽度为100 μm,信号电极宽度35 μm,间距为70 μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高.
    이용박작위전겁재료,SiO2작위격열층,재단정규츤저상,설계료일충신형미결구기체전감기적전겁결구.저충공평면형전겁결구소제료가열기산생적자장대측량신호적간우.통과유한원분석공구분석가열기화신호전겁재불동관도여간거하적온도분포.당가열기관도위100 μm,신호전겁관도35 μm,간거위70 μm,전감기획득균균적온도분포화저공모,유리우전감기정체성능적제고.
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