中国电机工程学报
中國電機工程學報
중국전궤공정학보
ZHONGGUO DIANJI GONGCHENG XUEBAO
2012年
z1期
236-241
,共6页
余东东%杨开明%朱煜%李鑫%崔乐卿
餘東東%楊開明%硃煜%李鑫%崔樂卿
여동동%양개명%주욱%리흠%최악경
平面电机%低频扰动%非线性控制%轨迹跟踪%噪声抑制
平麵電機%低頻擾動%非線性控製%軌跡跟蹤%譟聲抑製
평면전궤%저빈우동%비선성공제%궤적근종%조성억제
长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声.针对上述问题,为进一步提高运动与定位精度,提出一种基于轨迹跟踪误差幅值的变增益非线性控制算法,并采用扫描函数法证明所提方法的稳定性.当误差值大于阈值时,利用较大的附加增益以消除低频误差；反之,利用小增益以避免放大高频系统噪声.轨迹跟踪实验结果表明,相对于线性控制算法,非线性控制算法作用下跟踪误差小于1μm,有效提升了系统的轨迹跟踪与定位性能,在增强系统抑制低频干扰能力的同时降低了对噪声的敏感性.
長行程多自由度氣浮平麵電機廣汎應用于高精度場閤,如半導體製造裝備、超精密儀器等.但氣浮平麵電機存在繫統譟聲大、易受外界榦擾的問題,採用高增益線性控製器可有效抑製低頻榦擾,但會放大繫統譟聲.針對上述問題,為進一步提高運動與定位精度,提齣一種基于軌跡跟蹤誤差幅值的變增益非線性控製算法,併採用掃描函數法證明所提方法的穩定性.噹誤差值大于閾值時,利用較大的附加增益以消除低頻誤差；反之,利用小增益以避免放大高頻繫統譟聲.軌跡跟蹤實驗結果錶明,相對于線性控製算法,非線性控製算法作用下跟蹤誤差小于1μm,有效提升瞭繫統的軌跡跟蹤與定位性能,在增彊繫統抑製低頻榦擾能力的同時降低瞭對譟聲的敏感性.
장행정다자유도기부평면전궤엄범응용우고정도장합,여반도체제조장비、초정밀의기등.단기부평면전궤존재계통조성대、역수외계간우적문제,채용고증익선성공제기가유효억제저빈간우,단회방대계통조성.침대상술문제,위진일보제고운동여정위정도,제출일충기우궤적근종오차폭치적변증익비선성공제산법,병채용소묘함수법증명소제방법적은정성.당오차치대우역치시,이용교대적부가증익이소제저빈오차；반지,이용소증익이피면방대고빈계통조성.궤적근종실험결과표명,상대우선성공제산법,비선성공제산법작용하근종오차소우1μm,유효제승료계통적궤적근종여정위성능,재증강계통억제저빈간우능력적동시강저료대조성적민감성.
