振动与冲击
振動與遲擊
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JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK
2013年
1期
89-93,98
,共6页
衍射光栅刻划机%精密定位%Hilbert-Huang变换(HHT)%特征识别%试验研究
衍射光柵刻劃機%精密定位%Hilbert-Huang變換(HHT)%特徵識彆%試驗研究
연사광책각화궤%정밀정위%Hilbert-Huang변환(HHT)%특정식별%시험연구
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究.首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法.然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号.最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证.结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据.
針對機械式衍射光柵刻劃機精密定位工作檯定位過程中產生的振動信號特性與光學性能指標(雜散光彊度和波前質量)之間的關繫,提齣利用改進的Hilbert-Huang變換(HHT)穫得的時頻譜和邊際譜對超精密工作檯精定位特性進行研究.首先,給齣瞭基于固有模態函數(IMF)篩選和瞬時頻率差分求解的HHT信號處理算法.然後,設計瞭光學測量實驗穫得工作檯50nm定位信號.最後,完成精密定位信號的特徵提取和振動測試驗證.結果錶明:利用改進的HHT可以精確地完成精密定位信號的特徵提取,從而為在衍射光柵的製造工藝中從根源上降低衍射光柵的雜散光彊度和提高波前質量提供依據.
침대궤계식연사광책각화궤정밀정위공작태정위과정중산생적진동신호특성여광학성능지표(잡산광강도화파전질량)지간적관계,제출이용개진적Hilbert-Huang변환(HHT)획득적시빈보화변제보대초정밀공작태정정위특성진행연구.수선,급출료기우고유모태함수(IMF)사선화순시빈솔차분구해적HHT신호처리산법.연후,설계료광학측량실험획득공작태50nm정위신호.최후,완성정밀정위신호적특정제취화진동측시험증.결과표명:이용개진적HHT가이정학지완성정밀정위신호적특정제취,종이위재연사광책적제조공예중종근원상강저연사광책적잡산광강도화제고파전질량제공의거.
