光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
1期
131-136
,共6页
温建明%马继杰%曾平%张忠华%阚君武%程光明
溫建明%馬繼傑%曾平%張忠華%闞君武%程光明
온건명%마계걸%증평%장충화%감군무%정광명
压电驱动器%旋转驱动器%压电叠堆%惯性驱动
壓電驅動器%鏇轉驅動器%壓電疊堆%慣性驅動
압전구동기%선전구동기%압전첩퇴%관성구동
提出了通过控制正压力来改变摩擦力的方案,进而研制了一种以压电叠堆为动力转换元件的新型压电旋转驱动器.采用两个驱动用压电叠堆对称布置的方式设计了该旋转驱动器结构,探讨了旋转驱动器运动机理,制作了压电旋转驱动器试验样机并对其进行了试验测试.试验结果表明,该驱动器输出步长线性度较好,当驱动电压为10 V、频率为2Hz时,驱动器旋转步长为20 μrad.分析了驱动器输出稳定性,针对存在的问题提出通过施加控制系统来有效提高不同起始位置驱动器的运动稳定性.对试验结果进行误差分析,找出了产生误差的原因,为驱动器的进一步优化设计提供了参考.研究证明了该压电旋转驱动器设计方法的可行性,利用该方法可以制作出结构简单,体积小,适合在微驱动领域中应用的驱动器.
提齣瞭通過控製正壓力來改變摩抆力的方案,進而研製瞭一種以壓電疊堆為動力轉換元件的新型壓電鏇轉驅動器.採用兩箇驅動用壓電疊堆對稱佈置的方式設計瞭該鏇轉驅動器結構,探討瞭鏇轉驅動器運動機理,製作瞭壓電鏇轉驅動器試驗樣機併對其進行瞭試驗測試.試驗結果錶明,該驅動器輸齣步長線性度較好,噹驅動電壓為10 V、頻率為2Hz時,驅動器鏇轉步長為20 μrad.分析瞭驅動器輸齣穩定性,針對存在的問題提齣通過施加控製繫統來有效提高不同起始位置驅動器的運動穩定性.對試驗結果進行誤差分析,找齣瞭產生誤差的原因,為驅動器的進一步優化設計提供瞭參攷.研究證明瞭該壓電鏇轉驅動器設計方法的可行性,利用該方法可以製作齣結構簡單,體積小,適閤在微驅動領域中應用的驅動器.
제출료통과공제정압력래개변마찰력적방안,진이연제료일충이압전첩퇴위동력전환원건적신형압전선전구동기.채용량개구동용압전첩퇴대칭포치적방식설계료해선전구동기결구,탐토료선전구동기운동궤리,제작료압전선전구동기시험양궤병대기진행료시험측시.시험결과표명,해구동기수출보장선성도교호,당구동전압위10 V、빈솔위2Hz시,구동기선전보장위20 μrad.분석료구동기수출은정성,침대존재적문제제출통과시가공제계통래유효제고불동기시위치구동기적운동은정성.대시험결과진행오차분석,조출료산생오차적원인,위구동기적진일보우화설계제공료삼고.연구증명료해압전선전구동기설계방법적가행성,이용해방법가이제작출결구간단,체적소,괄합재미구동영역중응용적구동기.
