光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
1期
101-107
,共7页
超精密车削%散射特性%Stratton-Chu积分%微观形貌
超精密車削%散射特性%Stratton-Chu積分%微觀形貌
초정밀차삭%산사특성%Stratton-Chu적분%미관형모
研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程.采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象.阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕的散射特性,再根据周期性结构对光的调制性来求得被加工表面为镜面对刀尖圆弧半径和进给率(主轴每转的进给距离)选择的大约临界值要求.在入射光波长500 nm的情况下,当刀尖圆弧半径选择500 μm时,可以计算得出阈值进给率为19μm.粗糙度散射理论分析则是通过电场积分公式——Stratton-Chu公式进行更精确的计算.实验表明,对于超精密车削加工得到的表面,当从入射光的非镜面方向,尤其是一极大散射方向观察不到光强时,即可以认为加工出了镜面效果.
研究瞭超精密車削錶麵微觀拓撲形貌與光散射特性之間的關繫,用于評價車削加工錶麵的光學性能併優化加工過程.採用閾值分析和粗糙錶麵散射理論分析兩種方法研究瞭僅有理想刀痕的錶麵所產生的重影現象.閾值分析是指先計算單段圓弧刀痕的散射特性,再根據週期性結構對光的調製性來求得被加工錶麵為鏡麵對刀尖圓弧半徑和進給率(主軸每轉的進給距離)選擇的大約臨界值要求.在入射光波長500 nm的情況下,噹刀尖圓弧半徑選擇500 μm時,可以計算得齣閾值進給率為19μm.粗糙度散射理論分析則是通過電場積分公式——Stratton-Chu公式進行更精確的計算.實驗錶明,對于超精密車削加工得到的錶麵,噹從入射光的非鏡麵方嚮,尤其是一極大散射方嚮觀察不到光彊時,即可以認為加工齣瞭鏡麵效果.
연구료초정밀차삭표면미관탁복형모여광산사특성지간적관계,용우평개차삭가공표면적광학성능병우화가공과정.채용역치분석화조조표면산사이론분석량충방법연구료부유이상도흔적표면소산생적중영현상.역치분석시지선계산단단원호도흔적산사특성,재근거주기성결구대광적조제성래구득피가공표면위경면대도첨원호반경화진급솔(주축매전적진급거리)선택적대약림계치요구.재입사광파장500 nm적정황하,당도첨원호반경선택500 μm시,가이계산득출역치진급솔위19μm.조조도산사이론분석칙시통과전장적분공식——Stratton-Chu공식진행경정학적계산.실험표명,대우초정밀차삭가공득도적표면,당종입사광적비경면방향,우기시일겁대산사방향관찰불도광강시,즉가이인위가공출료경면효과.
