CAJ | 학술논문

硅微陀螺仪多采用微机械加工工艺制作,其加工的相对精度较低,从而易产生正交耦合误差,影响陀螺仪的输出.为了优化设计硅微陀螺仪结构,提高其性能,本文建立了陀螺仪正交耦合系数的理论分析模型.首先,利用能量方法推导陀螺仪驱动梁的面内刚度；然后,建立陀螺仪的刚度矩阵；最后,推导了正交耦合系数的理论计算公式.针对本课题组研制的双质量振动式硅微陀螺仪,理论计算出其直接耦合系数为4.74×10-5,二次耦合系数为8.44×10-7.得到的陀螺仪的正交耦合系数为4.75×10-5,与仿真值相差8.7％.分析得到陀螺仪正交耦合系数的最大值为2.18×10-4,与仿真值相差7.9％.最后,实验验证了计算结果的正确性.得到的结果表明,建立的正交耦合系数理论分析模型可为硅微陀螺仪的结构优化设计提供理论依据和实际指导.
규미타라의다채용미궤계가공공예제작,기가공적상대정도교저,종이역산생정교우합오차,영향타라의적수출.위료우화설계규미타라의결구,제고기성능,본문건립료타라의정교우합계수적이론분석모형.수선,이용능량방법추도타라의구동량적면내강도；연후,건립타라의적강도구진；최후,추도료정교우합계수적이론계산공식.침대본과제조연제적쌍질량진동식규미타라의,이론계산출기직접우합계수위4.74×10-5,이차우합계수위8.44×10-7.득도적타라의적정교우합계수위4.75×10-5,여방진치상차8.7％.분석득도타라의정교우합계수적최대치위2.18×10-4,여방진치상차7.9％.최후,실험험증료계산결과적정학성.득도적결과표명,건립적정교우합계수이론분석모형가위규미타라의적결구우화설계제공이론의거화실제지도.