光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
1期
69-76
,共8页
机器视觉%可见光透射%微器件%键合质量检测
機器視覺%可見光透射%微器件%鍵閤質量檢測
궤기시각%가견광투사%미기건%건합질량검측
针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测,提出了可见光透射机器视觉检测法.分析了检测系统硬件中主要部件的性能要求,研究了该检测系统的图像处理技术.检测系统利用光源、相机、镜头和计算机等主要部件实现图像采集功能,并通过图像相减、灰度直方图调整、图像滤波和图像二值化等图像处理功能来完成质量检测.实验结果表明,提出的可见光透射机器视觉检测法能灵敏有效地检测出透明材料微小器件键合位置处存在的键合间隙和缺陷大小,检测精度可达10 μm,满足透明材料微小器件键合质量的要求,是一种高效、非接触、无损、无污染的检测方法.
針對材料和結構均特殊的透明材料微小器件的鍵閤質量檢測,提齣瞭可見光透射機器視覺檢測法.分析瞭檢測繫統硬件中主要部件的性能要求,研究瞭該檢測繫統的圖像處理技術.檢測繫統利用光源、相機、鏡頭和計算機等主要部件實現圖像採集功能,併通過圖像相減、灰度直方圖調整、圖像濾波和圖像二值化等圖像處理功能來完成質量檢測.實驗結果錶明,提齣的可見光透射機器視覺檢測法能靈敏有效地檢測齣透明材料微小器件鍵閤位置處存在的鍵閤間隙和缺陷大小,檢測精度可達10 μm,滿足透明材料微小器件鍵閤質量的要求,是一種高效、非接觸、無損、無汙染的檢測方法.
침대재료화결구균특수적투명재료미소기건적건합질량검측,제출료가견광투사궤기시각검측법.분석료검측계통경건중주요부건적성능요구,연구료해검측계통적도상처리기술.검측계통이용광원、상궤、경두화계산궤등주요부건실현도상채집공능,병통과도상상감、회도직방도조정、도상려파화도상이치화등도상처리공능래완성질량검측.실험결과표명,제출적가견광투사궤기시각검측법능령민유효지검측출투명재료미소기건건합위치처존재적건합간극화결함대소,검측정도가체10 μm,만족투명재료미소기건건합질량적요구,시일충고효、비접촉、무손、무오염적검측방법.
