工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2013年
1期
10-14
,共5页
李文帅%相炳坤%庆振华%左敦稳%孟兆升
李文帥%相炳坤%慶振華%左敦穩%孟兆升
리문수%상병곤%경진화%좌돈은%맹조승
氮化碳涂层%直流等离子喷射法%工艺参数%表征
氮化碳塗層%直流等離子噴射法%工藝參數%錶徵
담화탄도층%직류등리자분사법%공예삼수%표정
氮化碳因预言具有超金刚石硬度、高热稳定性及优异的摩擦磨损性能,在刀具涂层的应用领域具有巨大的潜力,引起了世界上科研工作者的广泛关注.本文以CF4+N2+H2 +Ar为反应气体,通过直流等离子体喷射法(DC Plasma Jet CVD),在Si[100]基底上以金刚石薄膜为过渡层,成功制备了氮化碳涂层.利用扫描隧道显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱(Raman)等现代理化测试手段,对所制备涂层的表面形貌、成分结构进行了表征和分析.研究结果表明:所制备的涂层中金刚石过渡层表面生长了线度约300-600nm的C3N4晶粒,为亚微米级别,晶形较为清晰,呈现不规整的柱状,样品中主要含有α-C3N4与β-C3N4,涂层中N的含量为9.8％.
氮化碳因預言具有超金剛石硬度、高熱穩定性及優異的摩抆磨損性能,在刀具塗層的應用領域具有巨大的潛力,引起瞭世界上科研工作者的廣汎關註.本文以CF4+N2+H2 +Ar為反應氣體,通過直流等離子體噴射法(DC Plasma Jet CVD),在Si[100]基底上以金剛石薄膜為過渡層,成功製備瞭氮化碳塗層.利用掃描隧道顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜(Raman)等現代理化測試手段,對所製備塗層的錶麵形貌、成分結構進行瞭錶徵和分析.研究結果錶明:所製備的塗層中金剛石過渡層錶麵生長瞭線度約300-600nm的C3N4晶粒,為亞微米級彆,晶形較為清晰,呈現不規整的柱狀,樣品中主要含有α-C3N4與β-C3N4,塗層中N的含量為9.8％.
담화탄인예언구유초금강석경도、고열은정성급우이적마찰마손성능,재도구도층적응용영역구유거대적잠력,인기료세계상과연공작자적엄범관주.본문이CF4+N2+H2 +Ar위반응기체,통과직류등리자체분사법(DC Plasma Jet CVD),재Si[100]기저상이금강석박막위과도층,성공제비료담화탄도층.이용소묘수도현미경(SEM)、원자력현미경(AFM)、랍만광보(Raman)등현대이화측시수단,대소제비도층적표면형모、성분결구진행료표정화분석.연구결과표명:소제비적도층중금강석과도층표면생장료선도약300-600nm적C3N4정립,위아미미급별,정형교위청석,정현불규정적주상,양품중주요함유α-C3N4여β-C3N4,도층중N적함량위9.8％.
