福建师范大学学报（自然科学版）
福建師範大學學報（自然科學版）
복건사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUJIAN TEACHERS UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
1期
48-52
,共5页
郑卫峰%林丽梅%吕佩伟%盖荣权%赖发春
鄭衛峰%林麗梅%呂珮偉%蓋榮權%賴髮春
정위봉%림려매%려패위%개영권%뢰발춘
掺锡氧化铟薄膜%PET柔性衬底%厚度%磁控溅射%光电学性质
摻錫氧化銦薄膜%PET柔性襯底%厚度%磁控濺射%光電學性質
참석양화인박막%PET유성츤저%후도%자공천사%광전학성질
采用射频磁控溅射技术,室温下在PET柔性衬底上沉积不同厚度的掺锡氧化铟(ITO)薄膜,样品的结构、形貌和光电学性质分别用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计和Van der Pauw方法测量.实验结果表明:在其它参数不变的条件下,随着溅射时间的增加薄膜的厚度增大,而薄膜的颗粒大小和表面粗糙度也随之变大；方块电阻、电阻率随样品厚度的增加而减小,相应的迁移率减少,载流子浓度变大.当样品厚度为148 nm时,样品的方块电阻为26.5 Ω·口-1、迁移率为19.1 cm2 ·V-1 ·s-1、载流子浓度为8.43×1020 cm-3.
採用射頻磁控濺射技術,室溫下在PET柔性襯底上沉積不同厚度的摻錫氧化銦(ITO)薄膜,樣品的結構、形貌和光電學性質分彆用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、分光光度計和Van der Pauw方法測量.實驗結果錶明:在其它參數不變的條件下,隨著濺射時間的增加薄膜的厚度增大,而薄膜的顆粒大小和錶麵粗糙度也隨之變大；方塊電阻、電阻率隨樣品厚度的增加而減小,相應的遷移率減少,載流子濃度變大.噹樣品厚度為148 nm時,樣品的方塊電阻為26.5 Ω·口-1、遷移率為19.1 cm2 ·V-1 ·s-1、載流子濃度為8.43×1020 cm-3.
채용사빈자공천사기술,실온하재PET유성츤저상침적불동후도적참석양화인(ITO)박막,양품적결구、형모화광전학성질분별용X사선연사의、원자력현미경、분광광도계화Van der Pauw방법측량.실험결과표명:재기타삼수불변적조건하,수착천사시간적증가박막적후도증대,이박막적과립대소화표면조조도야수지변대；방괴전조、전조솔수양품후도적증가이감소,상응적천이솔감소,재류자농도변대.당양품후도위148 nm시,양품적방괴전조위26.5 Ω·구-1、천이솔위19.1 cm2 ·V-1 ·s-1、재류자농도위8.43×1020 cm-3.
