传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
2期
96-98
,共3页
刘岗%梁庭%郇弢%雷程%赵晓霞
劉崗%樑庭%郇弢%雷程%趙曉霞
류강%량정%순도%뢰정%조효하
甲烷%镀金膜红外气室%红外探测器%标定技术
甲烷%鍍金膜紅外氣室%紅外探測器%標定技術
갑완%도금막홍외기실%홍외탐측기%표정기술
设计给出一种稳定性好、灵敏度高的反射式红外甲烷传感器气室设计过程与测试结果.红外甲烷传感器基于色散型红外吸收光谱法的原理,利用非分光红外探测技术过滤甲烷气体的特征波长以外的光线,再采用双通道补偿技术对气室内部的甲烷气体体积分数进行检测.气室是红外探测器、传输光路、红外光源集成装配体,其结构和性能对器件性能至关重要.气室内壁设计成镀金的旋转抛物面,红外光经抛物面反射成近似平行的光束,该红外光束在气室内部传播过程被气室底盖反射到探测器,增加了甲烷气体的吸收光程,起到了提高气室的灵敏度的作用.设计完成后,经过甲烷环境的测试,反射式气室的稳定性、灵敏度、反应时间等都有良好的表现.
設計給齣一種穩定性好、靈敏度高的反射式紅外甲烷傳感器氣室設計過程與測試結果.紅外甲烷傳感器基于色散型紅外吸收光譜法的原理,利用非分光紅外探測技術過濾甲烷氣體的特徵波長以外的光線,再採用雙通道補償技術對氣室內部的甲烷氣體體積分數進行檢測.氣室是紅外探測器、傳輸光路、紅外光源集成裝配體,其結構和性能對器件性能至關重要.氣室內壁設計成鍍金的鏇轉拋物麵,紅外光經拋物麵反射成近似平行的光束,該紅外光束在氣室內部傳播過程被氣室底蓋反射到探測器,增加瞭甲烷氣體的吸收光程,起到瞭提高氣室的靈敏度的作用.設計完成後,經過甲烷環境的測試,反射式氣室的穩定性、靈敏度、反應時間等都有良好的錶現.
설계급출일충은정성호、령민도고적반사식홍외갑완전감기기실설계과정여측시결과.홍외갑완전감기기우색산형홍외흡수광보법적원리,이용비분광홍외탐측기술과려갑완기체적특정파장이외적광선,재채용쌍통도보상기술대기실내부적갑완기체체적분수진행검측.기실시홍외탐측기、전수광로、홍외광원집성장배체,기결구화성능대기건성능지관중요.기실내벽설계성도금적선전포물면,홍외광경포물면반사성근사평행적광속,해홍외광속재기실내부전파과정피기실저개반사도탐측기,증가료갑완기체적흡수광정,기도료제고기실적령민도적작용.설계완성후,경과갑완배경적측시,반사식기실적은정성、령민도、반응시간등도유량호적표현.
