传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
2期
70-73
,共4页
长跨度孔系%同轴度误差%位置敏感探测器%激光自准直%激光光斑位置检测
長跨度孔繫%同軸度誤差%位置敏感探測器%激光自準直%激光光斑位置檢測
장과도공계%동축도오차%위치민감탐측기%격광자준직%격광광반위치검측
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统.多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差.推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直.使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验.实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8％,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度.
以激光作為準直基準,研製瞭基于位置敏感探測器(PSD)的長跨度孔繫同軸度誤差測量繫統.多功能測頭在孔繫內通過自定心機構確定各被測截麵,測頭前耑的PSD檢測激光光斑位置以確定各孔截麵中心坐標,併進而評定齣孔繫同軸度誤差.推導齣激光自準直數學模型,根據該模型由四自由度工作檯調整激光器位置,實現瞭激光自準直.使用本測量繫統完成瞭激光自準直實驗和孔繫同軸度誤差測量實驗.實驗結果錶明:經準直後激光束與工件兩耑孔中心連線之間的偏差在±0.032 mm以內,與三坐標測量機相比,本繫統同軸度誤差測量的相對誤差為8％,具備瞭較高的準直精度和同軸度誤差測量精度.
이격광작위준직기준,연제료기우위치민감탐측기(PSD)적장과도공계동축도오차측량계통.다공능측두재공계내통과자정심궤구학정각피측절면,측두전단적PSD검측격광광반위치이학정각공절면중심좌표,병진이평정출공계동축도오차.추도출격광자준직수학모형,근거해모형유사자유도공작태조정격광기위치,실현료격광자준직.사용본측량계통완성료격광자준직실험화공계동축도오차측량실험.실험결과표명:경준직후격광속여공건량단공중심련선지간적편차재±0.032 mm이내,여삼좌표측량궤상비,본계통동축도오차측량적상대오차위8％,구비료교고적준직정도화동축도오차측량정도.
