传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
2期
27-29
,共3页
臧俊斌%薛晨阳%晋玉剑%仝晓刚%韦丽萍%刘超
臧俊斌%薛晨暘%晉玉劍%仝曉剛%韋麗萍%劉超
장준빈%설신양%진옥검%동효강%위려평%류초
光波导%散射损耗%微机电系统%表面粗糙度
光波導%散射損耗%微機電繫統%錶麵粗糙度
광파도%산사손모%미궤전계통%표면조조도
针对目前纳米光波导传输中散射损耗严重的问题,详细分析了表面粗糙度与波导宽度对散射损耗的影响,给出了清晰的对应关系图.设计并采用MEMS工艺制备出纳米光波导结构,在此基础上对波导结构进行了表面粗糙度的测试,进一步提出采用高温热处理方法使波导表面粗糙度降低了3 nm左右.实验发现:高温热处理后的光波导结构其散射损耗降低到3.343 dB/cm.
針對目前納米光波導傳輸中散射損耗嚴重的問題,詳細分析瞭錶麵粗糙度與波導寬度對散射損耗的影響,給齣瞭清晰的對應關繫圖.設計併採用MEMS工藝製備齣納米光波導結構,在此基礎上對波導結構進行瞭錶麵粗糙度的測試,進一步提齣採用高溫熱處理方法使波導錶麵粗糙度降低瞭3 nm左右.實驗髮現:高溫熱處理後的光波導結構其散射損耗降低到3.343 dB/cm.
침대목전납미광파도전수중산사손모엄중적문제,상세분석료표면조조도여파도관도대산사손모적영향,급출료청석적대응관계도.설계병채용MEMS공예제비출납미광파도결구,재차기출상대파도결구진행료표면조조도적측시,진일보제출채용고온열처리방법사파도표면조조도강저료3 nm좌우.실험발현:고온열처리후적광파도결구기산사손모강저도3.343 dB/cm.
