西安工程大学学报
西安工程大學學報
서안공정대학학보
JOURNAL OF XI'AN POLYTECHNIC UNIVERSITY
2013年
2期
245-247
,共3页
碳纳米管%PECVD%氮气
碳納米管%PECVD%氮氣
탄납미관%PECVD%담기
采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD),以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜.并利用扫描电镜对其进行表征.结果表明,氮气流量对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,当氮气流量为10sccm时,能获得定向性良好、分布均匀、密度适中的碳纳米管.
採用等離子體增彊化學氣相沉積技術(PECVD),以C2H2、H2和N2為反應氣體,製備齣碳納米管薄膜.併利用掃描電鏡對其進行錶徵.結果錶明,氮氣流量對碳納米管薄膜的生長起著重要作用,噹氮氣流量為10sccm時,能穫得定嚮性良好、分佈均勻、密度適中的碳納米管.
채용등리자체증강화학기상침적기술(PECVD),이C2H2、H2화N2위반응기체,제비출탄납미관박막.병이용소묘전경대기진행표정.결과표명,담기류량대탄납미관박막적생장기착중요작용,당담기류량위10sccm시,능획득정향성량호、분포균균、밀도괄중적탄납미관.
