CAJ | 학술논문

采用射频反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备了一系列不同溅射功率的Al2O3薄膜,并对部分薄膜进行退火处理.利用X线衍射法对Al2O3薄膜退火前后的晶体结构进行分析,采用椭圆偏振光谱仪对薄膜的厚度、折射率和消光系数进行测试和拟合.实验结果表明:测射功率在100～300 W时,沉积的Al2O3薄膜退火前后均为非晶态；薄膜在可见光范围内具有良好的透光性能,透射率接近90％,为透明膜；薄膜的沉积速率随溅射功率的增大而增大；薄膜在可见光波段的折射率n随波长的增大而减小,平均值随溅射功率的增大呈现出先增大后减小的变化趋势；薄膜消光系数k的平均值亦随溅射功率的增大呈现先增大后减小的变化趋势.
채용사빈반응자공천사법,재K9쌍면포광파리기저상제비료일계렬불동천사공솔적Al2O3박막,병대부분박막진행퇴화처리.이용X선연사법대Al2O3박막퇴화전후적정체결구진행분석,채용타원편진광보의대박막적후도、절사솔화소광계수진행측시화의합.실험결과표명:측사공솔재100～300 W시,침적적Al2O3박막퇴화전후균위비정태；박막재가견광범위내구유량호적투광성능,투사솔접근90％,위투명막；박막적침적속솔수천사공솔적증대이증대；박막재가견광파단적절사솔n수파장적증대이감소,평균치수천사공솔적증대정현출선증대후감소적변화추세；박막소광계수k적평균치역수천사공솔적증대정현선증대후감소적변화추세.