化工新型材料
化工新型材料
화공신형재료
NEW CHEMICAL MATERIALS
2013年
7期
131-133
,共3页
王昊午%张新安%丁玲红%李国强%张伟风
王昊午%張新安%丁玲紅%李國彊%張偉風
왕호오%장신안%정령홍%리국강%장위풍
Cu/ZnO%磁控溅射%透明导电薄膜
Cu/ZnO%磁控濺射%透明導電薄膜
Cu/ZnO%자공천사%투명도전박막
以ZnO陶瓷靶和金属Cu靶为基础在室温条件下利用直流磁控溅射和射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了ZnO/Cu多层透明导电薄膜.通过改变溅射金属Cu层的时间等工艺参数,并采用紫外-可见-近红外(UV-Vis-NIR)分光光度计和霍尔测试仪对ZnO/Cu多层结构薄膜的光电性质等进行了分析和研究.ZnO/Cu多层透明导电薄膜的导电性随金属层溅射时间增加有很大的提高,从薄膜的透射谱中发现,Cu层的引入降低了多层结构的可见光透光率.随着多层结构薄膜载流子浓度的增加薄膜的光学带隙Eg下降.
以ZnO陶瓷靶和金屬Cu靶為基礎在室溫條件下利用直流磁控濺射和射頻磁控濺射技術在玻璃襯底上製備瞭ZnO/Cu多層透明導電薄膜.通過改變濺射金屬Cu層的時間等工藝參數,併採用紫外-可見-近紅外(UV-Vis-NIR)分光光度計和霍爾測試儀對ZnO/Cu多層結構薄膜的光電性質等進行瞭分析和研究.ZnO/Cu多層透明導電薄膜的導電性隨金屬層濺射時間增加有很大的提高,從薄膜的透射譜中髮現,Cu層的引入降低瞭多層結構的可見光透光率.隨著多層結構薄膜載流子濃度的增加薄膜的光學帶隙Eg下降.
이ZnO도자파화금속Cu파위기출재실온조건하이용직류자공천사화사빈자공천사기술재파리츤저상제비료ZnO/Cu다층투명도전박막.통과개변천사금속Cu층적시간등공예삼수,병채용자외-가견-근홍외(UV-Vis-NIR)분광광도계화곽이측시의대ZnO/Cu다층결구박막적광전성질등진행료분석화연구.ZnO/Cu다층투명도전박막적도전성수금속층천사시간증가유흔대적제고,종박막적투사보중발현,Cu층적인입강저료다층결구적가견광투광솔.수착다층결구박막재류자농도적증가박막적광학대극Eg하강.
