光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
7期
1825-1830
,共6页
徐征%王继章%吕治斌%刘军山%王林刚
徐徵%王繼章%呂治斌%劉軍山%王林剛
서정%왕계장%려치빈%류군산%왕림강
注塑成型%平板微小器件%翘曲%极差分析法
註塑成型%平闆微小器件%翹麯%極差分析法
주소성형%평판미소기건%교곡%겁차분석법
injection molding%flat micro-mini part%warpage%extreme difference analysis
对显著影响平板微小器件注塑成型的翘曲现象进行了研究.为了减少翘曲量,以带十字微沟槽的微流控芯片的基片为研究对象,研究了注塑工艺涉及的工艺参数.从注塑残余应力角度分析了翘曲变形的产生机理与演化过程.然后,以数值仿真和工艺实验为手段,建立了平板微小器件翘曲的测量方法.设计加工了基于硅型芯的注塑模具,以翘曲测量方法为基础,利用正交试验获得了最优注塑工艺参数.最后,通过极差分析法定量分析工艺参数对翘曲的影响.实验显示,通过工艺优化获得的最小翘曲量为141 μm,工艺参数对翘曲的影响由大到小依次为:保压时间、模具温度、保压压力、熔体温度、冷却时间.该研究成果为平板微小器件注塑工艺提供了参考依据.
對顯著影響平闆微小器件註塑成型的翹麯現象進行瞭研究.為瞭減少翹麯量,以帶十字微溝槽的微流控芯片的基片為研究對象,研究瞭註塑工藝涉及的工藝參數.從註塑殘餘應力角度分析瞭翹麯變形的產生機理與縯化過程.然後,以數值倣真和工藝實驗為手段,建立瞭平闆微小器件翹麯的測量方法.設計加工瞭基于硅型芯的註塑模具,以翹麯測量方法為基礎,利用正交試驗穫得瞭最優註塑工藝參數.最後,通過極差分析法定量分析工藝參數對翹麯的影響.實驗顯示,通過工藝優化穫得的最小翹麯量為141 μm,工藝參數對翹麯的影響由大到小依次為:保壓時間、模具溫度、保壓壓力、鎔體溫度、冷卻時間.該研究成果為平闆微小器件註塑工藝提供瞭參攷依據.
대현저영향평판미소기건주소성형적교곡현상진행료연구.위료감소교곡량,이대십자미구조적미류공심편적기편위연구대상,연구료주소공예섭급적공예삼수.종주소잔여응력각도분석료교곡변형적산생궤리여연화과정.연후,이수치방진화공예실험위수단,건립료평판미소기건교곡적측량방법.설계가공료기우규형심적주소모구,이교곡측량방법위기출,이용정교시험획득료최우주소공예삼수.최후,통과겁차분석법정량분석공예삼수대교곡적영향.실험현시,통과공예우화획득적최소교곡량위141 μm,공예삼수대교곡적영향유대도소의차위:보압시간、모구온도、보압압력、용체온도、냉각시간.해연구성과위평판미소기건주소공예제공료삼고의거.
