CAJ | 학술논문

基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差.首先,从原理上对设计方案进行了论证.该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统构成闭环控制,并基于压电陶瓷致动器及柔性铰链设计的六自由度微动工作台对宏动工作台进行直线定位误差及角度误差的综合补偿.然后,基于设计方案设计了宏动工作台及微动工作台的结构.最后,对安装调试后的宏微工作台系统进行了直线组合定位测试及角度误差修正测试.实验结果表明,该工作台系统的宏动行程达到了200 mm×200 mm;在闭环控制下,通过六自由度微动工作台的补偿作用可使各角度偏差由上百秒降至10″以内,由此工作台系统在全行程内的直线定位误差可由3μm降至25 nm以内.实验结果验证了提出的组合定位系统的有效性.
기우굉미조합구동방식,제출일충구유각도수정공능적대행정이유납미공작태설계방안래감소정밀측량계통중유우공작태정위급각도오차인입적측량오차.수선,종원리상대설계방안진행료론증.해방안중굉동공작태화미동공작태공용위치반궤계통구성폐배공제,병기우압전도자치동기급유성교련설계적륙자유도미동공작태대굉동공작태진행직선정위오차급각도오차적종합보상.연후,기우설계방안설계료굉동공작태급미동공작태적결구.최후,대안장조시후적굉미공작태계통진행료직선조합정위측시급각도오차수정측시.실험결과표명,해공작태계통적굉동행정체도료200 mm×200 mm;재폐배공제하,통과륙자유도미동공작태적보상작용가사각각도편차유상백초강지10″이내,유차공작태계통재전행정내적직선정위오차가유3μm강지25 nm이내.실험결과험증료제출적조합정위계통적유효성.