光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
7期
1741-1747
,共7页
高飒飒%卢启鹏%彭忠琦%龚学鹏
高颯颯%盧啟鵬%彭忠琦%龔學鵬
고삽삽%로계붕%팽충기%공학붕
X射线干涉光刻光束线%精密狭缝%四刀结构%重复精度%有限元分析
X射線榦涉光刻光束線%精密狹縫%四刀結構%重複精度%有限元分析
X사선간섭광각광속선%정밀협봉%사도결구%중복정도%유한원분석
X-ray Interferometric Lithography(XIL) beamline%precision slit%four-slit structure%repeatability precision%finite element analysis
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案.给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合.根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析.对狭缝的精度指标进行了测试.结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5 μm、平行度优于0.5 mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250 μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm.得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100 nm周期的刻蚀线结构.
針對上海光源X射線榦涉光刻(XIL)光束線對狹縫精度的要求,提齣瞭一種應用于超高真空的精密四刀狹縫機構及熱緩釋方案.給齣瞭四刀狹縫機構的工作原理,其四箇縫片獨立運動,採用線性驅動裝置及精密直線導軌來實現開閤.根據XIL光束線的特點,設計瞭一種閤理有效的熱緩釋方案,對縫片進行瞭熱-結構耦閤分析.對狹縫的精度指標進行瞭測試.結果顯示:該四刀狹縫的分辨率優于0.1μm、運動重複精度優于2μm、刀口直線度優于2.5 μm、平行度優于0.5 mrad,可以精確實現狹縫在水平和垂直方嚮-5～250 μm的開度,縫片在熱負載下的最大熱變形控製在0.034μm.得到的結果錶明,該精密四刀狹縫具有高的精度和穩定性,可滿足XIL光束線的使用要求,現已實際使用併製備齣瞭100 nm週期的刻蝕線結構.
침대상해광원X사선간섭광각(XIL)광속선대협봉정도적요구,제출료일충응용우초고진공적정밀사도협봉궤구급열완석방안.급출료사도협봉궤구적공작원리,기사개봉편독립운동,채용선성구동장치급정밀직선도궤래실현개합.근거XIL광속선적특점,설계료일충합리유효적열완석방안,대봉편진행료열-결구우합분석.대협봉적정도지표진행료측시.결과현시:해사도협봉적분변솔우우0.1μm、운동중복정도우우2μm、도구직선도우우2.5 μm、평행도우우0.5 mrad,가이정학실현협봉재수평화수직방향-5～250 μm적개도,봉편재열부재하적최대열변형공제재0.034μm.득도적결과표명,해정밀사도협봉구유고적정도화은정성,가만족XIL광속선적사용요구,현이실제사용병제비출료100 nm주기적각식선결구.
