光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
7期
1734-1740
,共7页
赵阳%裘安萍%施芹%赵健
趙暘%裘安萍%施芹%趙健
조양%구안평%시근%조건
微机械陀螺%接口模型%极限分辨率%T型前置放大器
微機械陀螺%接口模型%極限分辨率%T型前置放大器
미궤계타라%접구모형%겁한분변솔%T형전치방대기
micromachined gyroscope%interface model%resolving limit%T-network front-end
为了进一步提高微机械陀螺的极限分辨率,建立了基于SOI工艺的微机械陀螺的检测接口模型,并设计了与之相匹配的前置接口放大器.首先,根据陀螺表头的实际结构建立了微机械陀螺表头的RC集总参数模型和微机械陀螺检测接口的噪声模型,分析了检测接口主导噪声源及提高极限分辨率的措施.然后,在跨阻式前置放大器的基础上设计了改进的与检测接口匹配的T型前置放大器.实验结果表明:相比于跨阻式前置放大器,采用改进的T型前置放大器的等效噪声输入电流由1.18 pA/√Hz降低至0.27 pA/√Hz,对应的电容极限分辨率可达到0.62 aF/√Hz.结果显示,采用与检测接口匹配的T型前置放大器提高了微机械陀螺的极限分辨率.
為瞭進一步提高微機械陀螺的極限分辨率,建立瞭基于SOI工藝的微機械陀螺的檢測接口模型,併設計瞭與之相匹配的前置接口放大器.首先,根據陀螺錶頭的實際結構建立瞭微機械陀螺錶頭的RC集總參數模型和微機械陀螺檢測接口的譟聲模型,分析瞭檢測接口主導譟聲源及提高極限分辨率的措施.然後,在跨阻式前置放大器的基礎上設計瞭改進的與檢測接口匹配的T型前置放大器.實驗結果錶明:相比于跨阻式前置放大器,採用改進的T型前置放大器的等效譟聲輸入電流由1.18 pA/√Hz降低至0.27 pA/√Hz,對應的電容極限分辨率可達到0.62 aF/√Hz.結果顯示,採用與檢測接口匹配的T型前置放大器提高瞭微機械陀螺的極限分辨率.
위료진일보제고미궤계타라적겁한분변솔,건립료기우SOI공예적미궤계타라적검측접구모형,병설계료여지상필배적전치접구방대기.수선,근거타라표두적실제결구건립료미궤계타라표두적RC집총삼수모형화미궤계타라검측접구적조성모형,분석료검측접구주도조성원급제고겁한분변솔적조시.연후,재과조식전치방대기적기출상설계료개진적여검측접구필배적T형전치방대기.실험결과표명:상비우과조식전치방대기,채용개진적T형전치방대기적등효조성수입전류유1.18 pA/√Hz강저지0.27 pA/√Hz,대응적전용겁한분변솔가체도0.62 aF/√Hz.결과현시,채용여검측접구필배적T형전치방대기제고료미궤계타라적겁한분변솔.
