CAJ | 학술논문

介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测.利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构.为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空封装技术实现了器件级真空封装,并消除了轴向加速度等共模干扰的影响.陀螺电路采用自激闭环驱动、开环检测的方式,简化了电路.为了降低环境温度对陀螺零偏的影响,研究了既定范围内陀螺的输出特性,建立了陀螺输出与温度之间的关系模型,设计了温度补偿电路,降低了陀螺整表的功耗和体积.对采用上述技术的硅微陀螺仪进行了性能测试,测试结果表明,陀螺Q值＞100 000,量程为±500(°)/s,标度为21.453 mV·(°)-1s-1,非线性和对称性分别为36.905×10-6和184.125×10-6.常温下陀螺零偏稳定性为7.714 3(°)/h,带宽为100 Hz,整表体积为31mm×31mm×12mm,功耗为288 mW.该陀螺仪性能好、体积小、功耗低,在中等精度的惯性导航系统中有较好的应用前景.
개소료기우DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)공예자주연발적규미진동타라의적결구,봉장,급신호여성능검측.이용결구해우적방법화DDSOG공예설계화제비료쌍질량선진동식타라결구.위료제고타적궤계령민도、가고성화장기은정성,채취진공봉장기술실현료기건급진공봉장,병소제료축향가속도등공모간우적영향.타라전로채용자격폐배구동、개배검측적방식,간화료전로.위료강저배경온도대타라령편적영향,연구료기정범위내타라적수출특성,건립료타라수출여온도지간적관계모형,설계료온도보상전로,강저료타라정표적공모화체적.대채용상술기술적규미타라의진행료성능측시,측시결과표명,타라Q치＞100 000,량정위±500(°)/s,표도위21.453 mV·(°)-1s-1,비선성화대칭성분별위36.905×10-6화184.125×10-6.상온하타라령편은정성위7.714 3(°)/h,대관위100 Hz,정표체적위31mm×31mm×12mm,공모위288 mW.해타라의성능호、체적소、공모저,재중등정도적관성도항계통중유교호적응용전경.